CHInano 2020 第十一届中国国际纳米手艺工业展览会于2020年10月28~30日在苏州国际博览中心举行。。共设有14场论坛和两万平米展区。。笼罩MEMS及微纳制造、纳米新质料、传感器元件、第三代半导体、半导体制造装备、纳米手艺应用等领域。。
经由10年的生长，，纳博会汇聚了来自天下各地的工业界首脑，，著名学者及政府、企业代表，，分享最新科技效果、前沿信息、生长趋势，，同时也起劲增进产品推广，，资真相助和手艺交流与对接。。
富联娱乐在纳博会
纳博会的品牌论坛“中国MEMS制造大会”作为海内唯一聚焦MEMS制造领域的工业聚会，，汇聚海内外MEMS代工厂，，获得业内一致好评。。
在本次的“第二届中国MEMS制造大会”上株式会社富联娱乐执行董事邹弘纲先生揭晓了题为“用于物联网和AR/VR应用的压电质料薄膜加工手艺”的视频演讲，，富联娱乐（苏州）手艺研究开发有限公司研究员岳磊现场答疑。。
富联娱乐商贸在CHInano 2020 的第二天举行了“ULVAC MEMS Seminar”。。
富联娱乐（苏州）手艺研究开发有限公司研究员岳磊做了题为“ULVAC’s Piezo Thin-Film Fabrication Technology for the Realization of IoT/AI Applications”的报告。。多位MEMS工业界的企业高层人士参会，，交流对工业和压电MEMS手艺的看法。。
本次的报告对压电MEMS的手艺趋势、市场等大配景举行了叙述说明。。连系ULVAC的手艺特点、相关案例以及差别质料的特点比对，，说明晰在物联网以及人工智能时代的大情形下，，接纳了压电薄膜的Piezo-MEMS所具备的先天优势。。
针对PZT质料的自身特点，，总结了普遍接纳的块体陶瓷手艺以及新兴的薄膜手艺各自的特点和应用领域。。最后对ULVAC领先的PZT成套制备解决计划做了详细的手艺先容。。
ULVAC在铁电质料领域开发已有二十年以上手艺积累，，在PZT压电薄膜制造手艺已经迭代至5.0时代，，拥有天下最优级别的压电性能（e31>15c/m2），，介电击穿抵达400v以上（@2μm），，经时介电击穿tddb抵达2*10^13h（@40v 85℃）。。
ULVAC的PZT手艺不但具备天下最领先的薄膜特征，，其工艺温度思量到与CMOS集成时的热预算，，最低可在430-450℃周围实现PZT结晶。。
在量产方面也比竞争手艺具备更多优势。。其成内情比另一主流手艺，，降低约28%，，薄膜沉积速率可达约4μm/h。。
成熟的薄膜制造手艺以及配套的靶材供应，，刻蚀、去胶等工艺段的装备及手艺支持，，能够为客户尽可能提供完善，，成熟领先的解决计划。。
